Der EH-Tuner dient der Abstimmung der CYRANNUS^®-Plasmaquellen oder anderer Mikrowellen-Anwendungen. Ein Tuning der Mikrowellenleistung ist erforderlich, weil sich die Impedanz einer Anlage mit verschiedenen Parametern der Plasmaquelle und mit den Plasmaeigenschaften ändert. Grundsätzlich sollte davon ausgegangen werden, dass eine Änderung von Plasmaprozessen eine Neuabstimmung nötig macht.

				Anwendungen: präzise Impedanzabstimmung Minimierung der reflektierten Mikrowellenenergie Geringe Verluste in Prozeß und Tuner
				Technische Eigenschaften: Länge: 173mm Höhe: 510mm Breite: 590mm R26-Flansche Indikatoren für Plunger-Positionen
			EH-Tuner, automatische Version

Verschiedene Abstimmungs-Modi stehen zur Wahl:

• Manueller Modus: Einstellung der Plunger von Hand, Speicherung einer spezifischen Einstellung (z.B. für Plasmazündung)
• Halbautomatischer Modus: Abruf gespeicherter Position, automatische Minimierung der reflektierten Energie, Stop aller Bewegung
• Vollautomatischer Modus: Steuerung aller Tuner-Parameter durch die SPS

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KF-Schottverschraubung

KF-Schottverschraubungen dienen zur sicheren Durchführung von ISO-KF- Vakuum Leitungen durch Montageplatten und Trennwände. Alle KF-Schottverschraubungen verfügen über eine Dichtung, welche die Montagebohrung in der Platte nach dem Einbau der KF-Schottverschraubung wieder abdichtet.

KF-Schottverschraubungen sind in folgenden Ausführungen lieferbar:

.	DN 16 KF	DN 25 KF	DN 40 KF
Nennweite	16mm	25mm	40mm
max. Klemmlänge	13mm	.	6mm
gesamte Länge	75mm	75mm	88mm
Befestigungsgewinde	G 1 1/4"	.G 1 1/2"	G 2"
Befestigungsbohrung	42,5mm	48,5mm	60mm
Material	Aluminium/Edelstahl*	Aluminium/Edelstahl*	Aluminium/Edelstahl*
Dichtung	NBR / Viton*	NBR / Viton*	NBR / Viton*
Mutter	Messing

* auf Anfrage

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Beheizter Substrathalter

Substrathalter zur Aufnahme von flachen Substraten wie z.B. Wafer oder Bleche. Der Substrathalter ist vakuumtauglich und für den Einsatz in Plasmaanlagen geeignet. Die hauptsächlich verwendeten Materialien sind Edelstahl, Molybdän und Keramik. Der runde Aufbau ermöglicht ein einfaches Rotieren des Halters. Eine Molybdänplatte dient der Substrataufnahme. Die elektrische und thermische Isolation zum übrigen Halter ist durch Keramikringe gewährleistet.

		Technische Spezifikationen: Substratdurchmesser: 4"/6"/8" Temperaturbereich: bis 900 oC Zonenzahl: 1 -3 Thermoelement: Typ K andere auf Anfrage Leistungsaufnahme: 2000 W

Die Heizung des Substrathalters erfolgt über eine integrierte vollkeramische Heizplatte aus Siliziumnitrid. Zur Temperaturregelung wird ein Regelgerät mitgeliefert. Die Temperatur der Molybdänplatte wird von einem Thermoelement erfasst.

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Bias-Elektrode (manuell)

Die Bias-Elektrode mit einer Spitze aus Molybdän dient zur Bekeimung von Substraten in Plasmaanwendungen.

			Die Bias-Elektrode wurde speziell zum Anbau an Plasmaquellen vom Typ CYRANNUS® I entwickelt. Die Adaption an den oberen Flansch der Quelle erfolgt dabei über einen DN 40 KF-Flansch, so dass bereits vorhandene Flansche mit DN 40 KF-Prozessgasanschlüssen umgerüstet werden können. Die Position der Bias-Elektrode im Plasma wird über einen Stellring fixiert und liegt dabei ständig auf Erdpotential.
		Die Spitze der Elektrode ist leicht auswechselbar.

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