Die folgende Abbildung zeigt das Prinzip der CYRANNUS®-Plasmaquelle mit Mikrowellenzuführung.
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Die Plasmaquelle wird von rechts mit Mikrowellenenergie versorgt. Aus dem Magnetron kommend wird die Mikrowellenleistung in den Hohlleiter geführt. Dort wird diese Energie durch den Zirkulator und den EH-Tuner der Quelle zugeführt. Je nach Abstimmung der Impedanz durch den EH-Tuner wird reflektierte Leistung aus der Quelle bis in den Zirkulator zurückgestrahlt. Dort wird die reflektierte Energie abgeführt und in einer Wasserlast vernichtet.
Der Name CYRANNUS® leitet sich von "CYlindrical Resonator with ANNUlar Slots" her, weil das Funktionsprinzip auf einem Resonator mit umlaufend angeordneten Antennen basiert.
Das kleinste Modell der CYRANNUS®-Plasmaquellen hat sich vor allem im Bereich geströmter Gase und für die Analyse von Gasen bewährt.
Technische Spezifikationen der Quelle:
Frequenz: 2,45 GHz
Leistungseinsatz: 1 - 2 KW
Plasmaform: ellipsoid
Plasmadurchmesser: ca. 70 mm
Betriebsdruck: 0 - 100 mbar
Das Standardmodell der CYRANNUS® I-Plasmaquellen. Dieses Modell hat sich vielfach im weltweiten Einsatz bewährt. Die Kombination des Betriebsdruckbereichs mit einer hohen Toleranz gegenüber variierenden Prozessparametern machen das System außerordentlich stabil und robust.
Technische Spezifikationen der Quelle:
Frequenz: 2,45 GHz
Leistungseinsatz: 1 - 6 KW
Plasmaform: Kugel
Plasmadurchmesser: ca. 145 mm
Betriebsdruck: 0 - 1000 mbar
Ein größeres Modell der CYRANNUS® I-Baureihe. Mit einem Plasmadurchmesser von bis zu 25 cm eignet sich dieses Modell vor allem für die Behandlung größerer Flächen. Dieses System wird eingesetzt, wenn die Wirtschaftlichkeit eines Verfahrens erhöht werden soll.
Technische Spezifikationen der Quelle:
Frequenz: 2,45 GHz
Leistungseinsatz: 3 - 6 KW
Plasmaform: Diskus
Plasmadurchmesser: ca. 250 mm
Betriebsdruck: 0 - 1000 mbar
Das bislang größte realisierte Modell der CYRANNUS® I-Baureihe. Mit einem Plasmadurchmesser bis zu 40 cm eignet sich diese Quelle besonders für großflächige Anwendungen. Für den Schritt zu größeren Produktionsmengen oder Beschichtungsflächen ist der Frequenzwechsel auf die 915 MHz Technologie die wirtschaftlichste Lösung ohne Qualitätseinbußen.
Das folgende Bild verdeutlicht die relativen Größenverhältnisse von CYRANNUS® I 6" und 16". Die Skalierung von 2,45 GHz auf 915 MHz führt zu einer Vergrößerung um einen Faktor von mehr als 2,5.
Technische Spezifikationen der Quelle:
Frequenz: 915 MHz
Leistungseinsatz: 5 - 30 KW
Plasmaform: Kugel
Plasmadurchmesser: ca. 400 mm
Betriebsdruck: 0 - 1000 mbar
Plasmaquellen vom Typ CYRANNUS® II erzeugen ein lineares Plasma, das röhrenförmig um einen inneren Zylinder brennt. Durch eine spezielle Art der Leistungseinkopplung wird eine sehr gute Plasma-Homogenität erreicht. Zu den Besonderheiten der linearen Plasmaquelle CYRANNUS® II gehört auch die Skalierbarkeit in der Länge. Die CYRANNUS® II ist somit besonders geeignet für die Plasmabehandlung von Bandwaren, wie bspw. Stoffen oder Folienbahnen. Die CYRANNUS® II wird je nach Anwendung für den mittleren Druckbereich und mit einer speziellen Gaszufuhr angeboten.
Blick in die Vakuumkammer der CYRANNUS® II
Ein lineares Plasma umgibt die Quartzglasröhre
Technische Spezifikationen der Quelle:
Frequenz: 2,45 GHz
Leistungseinsatz: 1 - 6 KW
Plasmaform: variabel
Betriebsdruck: 0 - 10 mbar (Spezialversion bis 100 mbar)